类金刚石薄膜制备工艺中氢气组分的作用
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1甘国友,郭玉忠,苏云生.溶胶-凝胶法薄膜制备工艺及其应用[J].昆明理工大学学报(理工版),1997,22(1):142-145. 被引量:19
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2张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华.人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺[J].陶瓷学报,2002,23(2):116-118. 被引量:2
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3刘雄英,黄光周,范艺,于继荣.原子层沉积技术及应用发展概况[J].真空科学与技术学报,2006,26(z1):146-153. 被引量:12
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4刘佩瑶,于成民,王晓雯.InSb薄膜制备工艺技术研究[J].仪表技术与传感器,1996(2):18-21. 被引量:2
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5张旭苹.用作电致变色器件的LiNbO_3离子导体薄膜的研究[J].光学学报,1998,18(6):803-807. 被引量:5
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6曹明轩,董长昆.电泳沉积碳纳米管场发射阴极研究进展[J].真空,2013,50(5):56-62. 被引量:1
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7徐均琪,弥谦,杭凌侠,严一心,董网妮.宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究[J].光电工程,2008,35(6):23-27. 被引量:6
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8何俊鹏,章岳光,沈伟东,刘旭,顾培夫.原子层沉积技术及其在光学薄膜中的应用[J].真空科学与技术学报,2009,29(2):173-179. 被引量:11
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9薛人中,陈镇平,薛运才,苏玉玲,郝俊红,张金仓.YBa2Cu3O7-δ薄膜制备工艺对体系结构和性能的影响研究[J].低温与超导,2009,37(6):28-32. 被引量:2
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10袁宁儿,吉昂,曹如晟,徐宝玲.钇、钡、铜超导薄膜的非破坏测定[J].光谱学与光谱分析,1992,12(4):89-92. 被引量:4
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