明天的芯片生产技术

虽然几年前就预测光刻将停止使用并由电子束代替它,但光刻仍可作为微型化的关键技术,没有它集成电路总是提高的集成密度和复杂性几乎是不可能的。新建的股份公司卡尔蔡司半导体制造技术公司于2001年10月才由半导体技术业务部门建立了一座物镜生产新工厂。