Novellus和复旦大学成立半导体工艺技术研究中心

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摘要 10月17日,诺发系统有限公司(Novellus Sys-tems,Inc.,Nasdaq代号:NVLS)与上海复旦大学签订协议,联合成立一个集成电路铜互连工艺技术研究中心。为了让先进产品运转得更快及节省热量,今日最领先半导体制造公司正在转用铜互连将晶片上的半导体连接起来。在半导体行业中,诺发公司的高级淀积、表层准备。

作者海菲

出处《集成电路应用》 2003年第11期8-8,共1页 Application of IC

关键词诺发系统有限公司上海复旦大学集成电路铜互连半导体工艺技术研究中心

分类号 F426.63 [经济管理—产业经济]

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集成电路应用

2003年第11期

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