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三维微细光刻成型技术及其发展概况 被引量:1

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摘要 简要介绍了三维先成型技术的原理以及现阶段可以用来进行微细加工的方法;着重介绍了微光成型技术的发展和研究现状及其成果。
出处 《现代机械》 2001年第2期33-35,39,共4页 Modern Machinery
基金 本文得到国防预研基金(98002)支持
  • 相关文献

参考文献6

  • 1精密工学会志(日本).
  • 2日本机械学会论文集(C编).
  • 3Sensors and Actuators(A).
  • 4Journal of Micro-mechanical & Micro-engineering.
  • 5IEEE Journal of Micro-Electro-Mechanical Systems.
  • 6J. Maxwell, et al. Solid Freeform Fabrication proceedings(Aug. 1998, Austin).

同被引文献7

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  • 4Min Chen, Shenglin Yu, Ningning Luo, Yiqing Gao.Error analysis of digital virtual mask fabrication technique. Optik,2008,119: 633-636.
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  • 6于殿泓,劳奇成,卢秉恒,山本昌彦.微型制造中的掩膜快速成型技术[J].机械设计与制造工程,2000,29(4):27-29. 被引量:5
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引证文献1

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