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钢铁研究总院开发出母盘制备用镍钒靶

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摘要 钢铁研究总院高温材料研究所长期从事磁控溅射用高性能金属溅射靶材的研制和应用开发,研制靶材获得专利两项,省部级科技进步奖两项。产品质量优秀,市场占有率高,在业界享有很高的声誉。
出处 《光盘技术》 2003年第2期13-13,共1页 CD TECHNOLOGY
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