x射线衍射研究单晶Si衬底上低温生长的LaNiO3／Pb（Zr0．52Ti0．48）O3／LaNiO3铁电电容器结构

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摘要通过脉冲激光沉积，于Si(001)单晶衬底上在550℃的衬底温度下生长了LaNiO3／Pb(Zr0．52Ti0．48)O3／LaNiO3/SrtiO3/TiN/Si异质结构。利用四圆x射线分析了该多层膜结构中各层曲轴向外延关系。

作者陈效军

机构地区安徽电大巢湖分校安徽巢湖

出处《巢湖师专学报》 1999年第3期45-46,共2页

关键词 X射线衍射单晶Si LaNiO3/Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/LaNiO3 铁电电容器脉冲激光沉积

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巢湖师专学报

1999年第3期

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