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用干涉法测量半透明固态薄膜材料折射率
被引量:
1
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摘要
本文介绍的是,利用迈克耳孙干涉仪测试固态薄膜厚度的原理,通过观测半透明固态薄膜在干涉显微镜视场中所形成的干涉条纹间的关系,提出的半透明固态薄膜材料折射率的一种测试方法。这种方法与其他许多种方法比较具有测试方法简便。
作者
王恩光
机构地区
华中理工大学
出处
《实验技术与管理》
CAS
1992年第2期33-35,共3页
Experimental Technology and Management
关键词
干涉仪
固态薄膜
材料
折射率
测量
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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