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新型传感器研发的 重点领域 基于MEMS技术的新型微传感 器 微传感器,特别是以MEMS(微 电子机械系统)技术为基础的传感器 已逐步实用化,是今后发展的重点之 一。 微机械设想早在1959年就被提 出,其后逐渐显示出采用MEMS技术 制造各种微型新型传感器、执行器和 微系统的巨大潜力。