期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

集成电路对硅材料的要求

下载PDF
导出
作者 万群
机构地区 冶金工业部有色金属研究总院
出处 《物理》 CAS 1985年第4期227-231,238,共6页 Physics
关键词 单晶 元件尺寸 硅片 成品率 晶形 硅材料 晶体 杂质含量
分类号 F4 [经济管理—产业经济]
  • 相关文献
物理
1985年 第4期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部