摘要
用微等离子体氧化法在钛金属基体上制备钛酸锶钡(BST)陶瓷膜。讨论了Ba/Sr的摩尔比对陶瓷膜相组成的影响,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和电子探针(EPMA)等测试手段对陶瓷膜的相组成、形貌特征和元素分布进行了分析。结果表明,在所选定的工艺参数条件下可得到钛酸锶钡陶瓷膜,膜层由接近于纯相的钛酸锶钡构成,表面相对较为平整,各元素在陶瓷膜层中分布均匀,无梯度变化。
Barium strontium titanate (BST) ceramic film is prepared on titanium substrate by micro-plasma oxidation. It is discussed that the influence of Ba/Sr molar ratio on cera. mic film composition. The composition, morphology and element distribution of ceramic film are analyzed. It is indicated that the BST, ceramic, film with relative smooth-surface and homogeneous element composition can be formed in the condition of selected processing parameters.
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期859-861,共3页
Rare Metal Materials and Engineering
基金
国家自然科学基金(50171026)
哈工大交叉学科基金(HIT.MD2000.19)
哈尔滨工业大学校基金(HIT.2001.35)
关键词
钛酸锶钡
原位生长
徽等离子体氧化
barium strontium titanate
in-situ-growth
micro-plasma oxidation
