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集成电路中污染的控制

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摘要 集成电路在性能和可靠性方面早已胜过了通常的分离式电路。目前,集成电路不仅同它们分离式的对应电路相匹敌,而且胜过了后者。应用科学原理以及根据实验中所得到的经验,成品率已经获得提高。但是。
作者 潘桂忠
出处 《微电子学与计算机》 1972年第2期6-12,共7页 Microelectronics & Computer
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