微机电系统中微电机的发展趋暖

文章介绍了微机电系统中的关键执行部件-超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、鞭毛电机、超声波微电枧等。分析了其原理,分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了徽电子机械系统中微电机的发展趋势。