小圆面非平衡磁控原子源研究

STUDY OF A SMALL CIRCULAR UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING SOURCE

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摘要在文[1—6]的基础上,研制了小圆面非平衡磁控源,取得了同轴圆柱磁控原理用于平面磁控源并达到实用的小型化。1

作者郑思孝

机构地区四川大学原子核科学技术研究所

出处《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1992年第4期580-582,共3页 Journal of Sichuan University(Natural Science Edition)

关键词非平衡磁控原子源磁控放电

参考文献1

1郑思孝.一个会切阳极小矩形磁控源研究[J].四川大学学报（自然科学版）,1991,28(3):398-400.
2邱清泉,励庆孚,苏静静,Jiao Yu,Finely Jim.平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展[J].真空科学与技术学报,2007,27(6):493-499. 被引量：5
3徐磊,杨一军.最小作用原理求非同轴圆柱电容[J].安徽教育学院学报,2006,24(6):19-23. 被引量：1
4张俊平,马月英,高宏刚,陈斌,裴舒,吕俊霞,曹健林.用磁控溅射法制备软X射线多层膜[J].光学精密工程,1995,3(1):16-20. 被引量：4
5蒋海彬,王贺元.同轴圆柱间旋转流动Navier-stokes方程的外解[J].辽宁工学院学报,2007,27(4):273-277. 被引量：1
6王宇,徐忠锋.同轴圆柱间旋转流动Taylor-Couette流的数值模拟[J].渤海大学学报（自然科学版）,2004,25(3):249-251. 被引量：5
7蔡利亚.同轴圆柱间旋转流动Taylor-Couette流的数值模拟[J].辽宁工学院学报,2007,27(3):206-210. 被引量：3
8朱婧,郑连存,张志刚.同轴圆柱间滑移旋转流动问题的同伦解析解[J].力学学报,2012,44(2):451-455.
9蔡利亚.同轴圆柱间旋转流动类Lorenz型方程组的分歧问题[J].辽宁工学院学报,2007,27(2):121-126.
10孟宪权,范湘军.平面磁控溅射成膜生长速率及厚度均匀性计算[J].薄膜科学与技术,1994,7(4):318-323. 被引量：4

四川大学学报（自然科学版）

1992年第4期

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