摘要
文中的O3传感器采用悬浮栅结构,敏感膜选用In2O3纳米材料及其掺入适量γ-Fe2O3等的混合物,与增强型和 耗尽型的FET组合成不同类型的传感器,对其吸附时间和脱附时间以及温度特性进行了对比实验,并进行了理论分析。
The ozone sensors with HSGFET are prepared with two different kinds of FET.Its sensitive layer is based on In2O3 and doping with γ-Fe2O3, etc.The properties of its adsorption/desorption time and temperature are given accordingly and the experiment results are also discussed.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2003年第12期42-43,共2页
Instrument Technique and Sensor
基金
国家自然科学基金资助项目(No.69876023)。
关键词
臭氧传感器
吸附时间
脱附时间
敏感膜
室温
检测
Hybrid Suspended Gate Field-effect Transistor(HSGFET)
Ozone Sensor
Adsorption/ Desorption time
Sensitive Layer
