摘要
真空微电子学是迅速发展的一门新学科,近年来国内外的研究已取得了一系列的成果。本文着重介绍了近两年真空微电子学在微尖性能提高、发射材料、阴极结构以及场致发射应用(主要是场发射显示器)等方面的最新进展。真空微电子学在场发射平面显示器件方面的研究已进入实用阶段,相信近几年在这方面的应用将会获得突破性的进展。
Rapid progress has taken place on the research of vacuum electronics. We discuss recent advances in improving of tip emission, field emission material, structure of cathode and application of field emission (especially field emission displays). The study of vacuum electronics in field emission devices has been carried out into the applications. We believe that a breakthrough of the applications will be obtained in the coming years.
出处
《电子器件》
CAS
2003年第4期428-433,共6页
Chinese Journal of Electron Devices
基金
国家大功率微波重点实验室基金
东南大学科技基金(编号9206001270
9206001271)资助项目
关键词
真空微电子学
场致发射
新材料
场发射显示器
vacuum electronics
field emission
new material
field emission display