用于战术制导与导航应用的一种微机械振梁多敏感器的研制
Development of a Micromachined Vibrating Beam Multisensor(MVBM) for Tactical Guidance and Navigation Application
摘要
基尔福特(Kearfott)制导与导航公司已经开发出用于战术惯性制导与导航应用的一种微机械振梁多敏感器(MVBM).这种MVBM是一种固态石英(硅Si)器件,它测量运动共轴的线加速度和角速率.这是通过单个柔性放置的检测质量来实现的,其中检测质量起到一种耦合模式的哥里奥利(Coriolis-哥氏)敏感器和加速度计的作用.位置敏感器是固定的,以使这两种测量在双级输出中有所不同,这样增加了标度因数,且相对于单极器件而言降低了共模而引起的热、振动以及老化误差.
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