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正入射软X光Ta/Si多层膜反射镜
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作者
邵建达
金宗明
出处
《四川真空》
1992年第1期112-115,共4页
关键词
反射镜
多层膜
反射率
X光
工艺
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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张彦坡,任丁,林黎蔚,杨斌,王珊玲,刘波,徐可为.
Cu/Cu(Ge,Zr)/SiO_2/Si多层膜界面可控反应及热稳定性研究[J]
.金属学报,2013,49(10):1264-1268.
四川真空
1992年 第1期
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