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直流二极溅射和磁控溅射制备的非晶态TbFeCo薄膜...

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作者 范启华
出处 《四川真空》 1992年第3期32-34,共3页
关键词 溅射 薄膜 老化 非晶态 半导体
分类号 TN304.8 [电子电信—物理电子学]
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四川真空
1992年 第3期

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