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用对向靶溅射方法高速淀积磁性薄膜

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作者 范启华
出处 《四川真空》 1992年第3期28-31,共4页
关键词 溅射 磁性 薄膜 半导体
分类号 TN304.7 [电子电信—物理电子学]
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四川真空
1992年 第3期

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