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微电子机械系统中的超微电机 被引量:1

The Micro-motor of Micro Electromechanical System
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摘要 介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。 Micro motors, one of the important devices in the micro electromechanical system, are discussed, including electrostatic micro-motors, electromagnetic micro-motors and ultrasonic micro-motors. The principles, classification and characteristics are analyzed and the developing trend is reviewed.
作者 陈宝 施进浩
出处 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第12期46-48,共3页 Electronic Components And Materials
关键词 微电子机械系统 静电型微电机 电磁型微电机 超声波微电机 超微电机 micro electromechanical system electrostatic micro-motors electromagnetic micro -motors
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