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等离子体对材料表面改性作用研究

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摘要 概述等离子体应用于材料表面改性的基本原理以及等离子体表面改性的几种方式,主要有离子注入、等离子体物理气相沉积、等离子增强化学气相沉积。
作者 王曼星
机构地区 成都理工大学
出处 《现代商贸工业》 2014年第23期192-192,共1页 Modern Business Trade Industry
关键词 等离子体 表面改性 离子注入
分类号 TB306 [一般工业技术—材料科学与工程]
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二级参考文献19

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共引文献10

现代商贸工业
2014年 第23期

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