脉冲准分子激光沉积高a轴(200)取向CuO—SuO_2薄膜

下载PDF

导出

摘要采用脉冲准分子激光沉积技术,分别在Si(111)单晶及玻璃基片上沉积了具有高a-(200)取向的CuO掺杂的SnO_2薄膜.采用X射线衍射的(XRD)及透射电镜(TEM)扫描附件对不同温度下退火处理的样品进行了结构分析;同时对薄膜的温阻特性及气敏性能进行了研究。

作者方国家张增常刘传清李炳安雷式祖

机构地区襄阳师范高等专科学校物理系

出处《湖北文理学院学报》 1996年第2期35-41,10,共8页 Journal of Hubei University of Arts and Science

关键词高a轴(200)取向 CuO-SnO2薄膜脉冲激光沉积(PLD) 结构分析电学及气敏性能

分类号 TN244 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

参考文献4

1符史流,林揆训,刘育洲,陈斯任,林璇英.SnO_2：Sb电热膜的性能及应用[J].材料研究学报,1995,9(5):434-437. 被引量：8
2辛火平,陈逸清,石晓红,许华平,林成鲁,邹世昌.ArF准分子激光立方氮化硼薄膜的制备[J].中国激光,1995,22(8):637-640. 被引量：1
3林秀芬,郑文汀,林永耀.磁控反应溅射SnO_2薄膜的气敏特性[J].功能材料,1993,24(5):412-415. 被引量：7
4方国家,刘祖黎,胡一帆,姚凯伦.CuO－SnO_2纳米晶粉料的Sol－Gel制备及表征[J].无机材料学报,1996,11(3):537-541. 被引量：27

二级参考文献9

1刘勇,陈春华,沈瑜生.纳米SnO_2材料的晶化及其对气敏特性的影响[J].传感技术学报,1993,6(1):24-28. 被引量：6
2王晓平,赵特秀,季航,梁齐,董翊.晶粒尺寸对薄膜电阻率温度系数的影响[J].物理学报,1994,43(2):297-302. 被引量：15
3张仿清，太阳能学报，1988年，9卷，2期，190页
4Qian F，Appl Phys Lett，1993年，63卷，3期，317页
5Wang L，Appl Phys Lett，1993年，63卷，10期，1336页
6李厚福,王智民,苑喜云,何晓峰,李洪波.溶胶－凝胶法研制SnO_2微粉及其CO气敏特性[J].郑州轻工业学院学报（自然科学版）,1994,14(S1):89-93. 被引量：3
7易惠中.气敏功能材料的开发和应用[J].功能材料,1991,22(5):286-293. 被引量：19
8李玉,郑其经.二氧化锡薄膜的制备、特性及应用[J].材料科学与工程,1992,10(2):21-27. 被引量：11
9董远达,丁星兆.溶胶-凝胶工艺和氧化物气敏材料[J].功能材料,1992,23(1):18-22. 被引量：15

共引文献39

1黄剑锋,曹丽云.Sol-Gel法制备SnO_2透明导电薄膜[J].陕西科技大学学报（自然科学版）,2000,19(4):1-3. 被引量：3
2胡春霞,吕伟,吴佑实.反相微乳液方法制备氧化锡纳米粒子及其性能研究[J].山东大学学报（工学版）,2004,34(6):112-115. 被引量：2
3李建萍,傅敏恭.纳米Cu的制备、表征及润滑性能研究[J].江西农业大学学报,2005,27(1):158-160. 被引量：4
4刘运,朱刚强.纳米SnO_2粉体及其掺杂体系液相化学法的研究进展[J].陶瓷科学与艺术,2004,38(6):33-37. 被引量：2
5伦宁,胡春霞,吴佑实.Cu掺杂对氧化锡纳米晶结构、形貌及其光学性能的影响[J].山东大学学报（工学版）,2003,33(6):605-609. 被引量：3
6张渝,何锡辉,周德平,杜晓燕,成琼,谢家理.SnO_2-Sb-F电热膜的制备及其在化学反应器中的应用[J].四川大学学报（自然科学版）,2005,42(2):363-367.
7卫芝贤,欧海峰,宫喜军,孙新建,朱振晓.表面活性剂PEG在掺锑纳米SnO_2粉末氧化共沉淀制备中的作用[J].过程工程学报,2005,5(3):305-308. 被引量：17
8刘军,徐成海,窦新生.冷冻干燥法制备氢氧化铜纳米粉[J].材料与冶金学报,2006,5(1):50-52. 被引量：6
9张勇,周坤粦,曹伟民.掺银SnO_x薄膜的催化作用[J].应用化学,1996,13(4):115-116. 被引量：3
10张永胜,胡丽天,袁双玲,陈建敏,刘维民.不同Al_2O_3含量ZrO_2(3Y)/Al_2O_3纳米复合粉体的制备与表征[J].机械工程材料,2006,30(7):75-78. 被引量：3

1方国家,张增常.脉冲准分子激光气相沉积高a轴（200）取向CuO—SnO2薄膜及其常温气…[J].激光与光电子学进展,1996(7):121-121.
2陈逸清,郑立荣,林成鲁,邹世昌.脉冲准分子激光PZT薄膜的制备[J].中国激光,1994,21(8):631-634. 被引量：4
3黄继颇,王连卫,高剑侠,林成鲁,周艳萍.脉冲准分子激光沉积AlN薄膜的研究[J].中国激光,1999,26(9):815-818.
4郑立荣,陈逸清,张顺开,林成鲁,邹世昌.SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究[J].Journal of Semiconductors,1996,17(3):223-226.
5郑立荣,陈逸清,许华平,辛火平,宋世庚,林成鲁.Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积[J].功能材料与器件学报,1995,1(2X):93-98.
6周晓华,徐毓龙,曹全喜.CuO－SnO_2半导体陶瓷气敏机理研究[J].功能材料,1995,26(1):32-35. 被引量：8
7白婷,叶景峰,刘晶儒,王晟,叶锡生,王立君.利用脉冲准分子激光在ZnS上沉积类金刚石薄膜[J].中国激光,2007,34(7):992-997. 被引量：4
8邓国庆,余呤山,朱志强.低增益脉冲准分子激光阈值条件的研究[J].激光与红外,2005,35(2):89-92.
9方国家,刘祖黎,周远明,姚凯伦.脉冲准分子激光沉积纳米WO_3多晶电致变色薄膜的研究[J].硅酸盐学报,2001,29(6):559-564. 被引量：9
10朱大奇,刘祖黎,陈俊芳.SnO_2导电薄膜的制备及电学性能研究[J].化学传感器,1995,15(4):277-279.

湖北文理学院学报

1996年第2期

浏览历史

内容加载中请稍等...

脉冲准分子激光沉积高a轴(200)取向CuO—SuO_2薄膜

参考文献4

二级参考文献9

共引文献39

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史