摘要
在过去的 15～ 2 0年中 ,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前 ,一般的镀膜机都是纯人工操作 ,最先进的也只是半自动控制 ,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在 ,高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块 (子系统 )的全自动系统。这些智能模块 (子系统 )通常在多个微处理器的指令下结成局域网 (LAN) ,而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户对设备性能的完善性要求越来越高 ,现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时 ,还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件 ,以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。尽管其他技术日渐流行 ,但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段 ,因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。
The latest progress in the optical coating technologies and its vacuum system configuration was reviewed with attention focussed on widely used vacuum deposition
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003年第6期443-448,共6页
Vacuum Science and Technology
关键词
光学镀膜机
微处理器
局域网
蒸镀法
磁控溅射法
Optical coating system,Thin film performance,The tolerance triangle,Process & configuration
