摘要
微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域,其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能,可优质高产低耗,大大地提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一,它将对现代电子技术产生十分重要的影响。该技术无论在电子产品,还是在系统装备等很多方面都发挥极其重要作用,并得到电子工程师的高度重视,为此,中国电子学会拟于2015年7月24-26日在北京举办"2015全国传感器与微系统(MEMS)
出处
《太赫兹科学与电子信息学报》
2015年第3期527-,共1页
Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology
