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真空微电子管与真空微电子学的诞生——新的一轮电子技术革命正在来临

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摘要 本文综合介绍了国际上近年来利用尖端效应和隧道效应产生的场致发射现象,并用微电子工艺研制成功的一种仅有微米尺度的微型真空电子器件。由于它比晶体管集成密度更高,功耗更低,运算速度更快和可靠性更好,人们预期它在二十一世纪将取代晶体管,实现新的一轮电子技术革命。
出处 《电子科技杂志》 1990年第1期1-3,共3页
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