激光蒸发淀积法制备高Tc超导薄膜

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摘要本文简要介绍了激光蒸发淀积法制备高Tc超导薄膜的原理和实验装置，以及激光蒸发淀积技术在制备高Tc超导薄膜中的应用。

作者景俊海孙青杨银堂

出处《电子科技杂志》 1990年第1期4-9,共6页

关键词激光蒸发淀积高Tc超导薄膜大功率激光器工作原理

分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]

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