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基于LIGA技术的微细电火花加工

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摘要随着众多消费产品向“轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的微型机电系统(MEMS)已经成为众多研究机构和企业竞相投资的热门领域之一,其产品遍布工业、农业、医疗、

作者彭良强

机构地区中国科学院高能物理研究所

出处《机械工人（冷加工）》 2004年第1期26-28,共3页 Machinist Metal Cutting

关键词微细电火花加工 LIGA技术微电子工业微型机电系统光刻电铸铸塑

分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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机械工人（冷加工）

2004年第1期

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