挠性石英加速度传感器伺服电路小型化研制

The Development of the Miniaturized Servo Circuits of the Flexibility Quatz Accelerometer

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摘要本文简要介绍一种通用的加速度传感器和相应的利用硅工艺技术与混台集成电路技术研制出的一种小型化伺服电路. This paper hriefly introduces an generalelceleration senser and its miniaturizedserve circuits fabricated with IC and hybridtechnologies.

作者温灵生

机构地区航空航天部骊山微电子学研究所

出处《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1991年第11期10-11,共2页 Microelectronics & Computer

关键词挠性石英加速度传感器伺服电路小型化硅工艺惯性元件 Hybrid IC Miniaturization

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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