特种气体（高纯烷类气体）
出处
《中国科技产业》
1995年第4期60-60,共1页
Science & Technology Industry of China
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10唐宝中.“七五”期间我国特种气体及配套件研制取得重大进展[J].电子材料（机电部）,1991(7):29-31.
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