利用深度反应离子蚀刻技术制造的摆式振荡陀螺加速度计

利用深度反应离子蚀刻(DRIE)和硅片结合技术制造了一种硅摆式振荡陀螺加速度计(POGA)。到目前为止摆式积分陀螺加速度计(PIGA)是最灵敏的加速度计中基本的一种，POGA是对它的一种微机械形式的模拟。陀螺加速度计的工作原理是利用感应的陀螺力矩再平衡敏感加速度的摆质量。加速度计由三个独立的层装配成最终的仪表。顶层由一个氧化薄片和一个支撑薄片结合而成，构成一对硅-氧薄片，其中的氧化层形成机械部件和支撑层间的电气绝缘。中间层是一个双框架扭转支撑硅结构，被下面的驱动／敏感层所支撑。微机械POGA按陀螺加速度计的原理工作，其分辨率优于1毫克(原文如此，似为1mg之误)，开环的动态量程超过1g，闭环的动态量程大约12mg。