期刊文献+

用统计工艺控制日记来完成的区间控制图

下载PDF
导出
摘要 人所熟知,产品的质量是设计和制造出来的。当设计正确合理时,如何保证制造过程的质量就十分关键了。这就要求每道工序都要能达到符合该工艺规范的预期指标值,每道工序加工质量的稳定性要好。换而言之,加工过程须处于受控状态。为此,产生了各式各样的控制图,这些控制图各有其用场与优缺点。控制图的基本形式如图1所示,加工件的质量数据处于上、下控制线之间就认为是受控的。在正常情况下,当加工处于受控状态时,其总体质量特性服从正态分布规律,从既保证质量又经济合理的角度出发,人们把上、下控制线间的范围定为±3σ(σ为其标准偏差)。因为落在±3σ以外的几率只有0.3%,是一个小几率,在次数少的活动中一般不会发生,所以认为它是受控的。
作者 杨功铭
出处 《微电子学》 CAS CSCD 1992年第3期65-67,共3页 Microelectronics
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部