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解耦原理对洁净技术发展的影响

Decouple Principle' Influence On Cleanness Technique Development
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摘要 分析了解耦原理在洁净技术研究中的重要作用,并针对具体的净化理论和应用进行了分析,认为解耦原理是一种重要的实验理论方法,可以给洁净技术工作人员带来一些解决问题的新思维方式和方法。 This article discusses that 'decouple principle' plays an important role in cleanness technique research,and analyzes it aiming at specific cleanness theory and application. Author thinks 'decouple principle' is an importantexperiment theory method, and it can bring some new thought ways and means.
作者 刘华 牛维乐
出处 《制冷空调与电力机械》 2003年第6期13-15,4,共4页 Refrigeration Air Conditioning & Electric Power Machinery
关键词 解耦 三区不均匀理论 阻漏层 洁净手术部 空气洁净 decouple cleanness technique three zone non-uniformity theory damping leakage layer clean operating department
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参考文献4

二级参考文献15

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