摘要
光谱仪作为一类重要的测试仪器,随着微光机电系统的发展,其微型化趋势日益明显。光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代,经过十几年的发展,国际上已经出现了很多种采用先进制造技术的微型光谱仪,国内也有很多科研院所致力于微型光谱技术的研发。目前,国际上的微型光谱仪主要是依靠 MOEMS、LIGA、二元光学和集成光学光波导技术等微细加工技术进行制造,有些尚处于实验室原理样机阶段,但是随着微细加工制造技术的飞速发展,批量生产商品化的微型光谱仪已经为时不晚。本文重点介绍了基于调制原理和基于光纤传感特性的两类微型光谱技术,阐述了发展微型光谱仪器技术的重要意义。
