柱状弧源多弧离子镀膜机

Multi Arc Ion Plating System by Columner Arc Source

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摘要文章介绍新型柱状阴极电弧源多弧离子镀膜机的结构特点和镀氮化钛涂层的效果。 The article introduce to multi arc ion plating sgstem by columner arc source and introduce to microstructure'properties and thicks of plated TiN films

作者王福贞

出处《表面工程》 CSCD 1996年第1期48-49,9,共3页

关键词多弧离子镀镀膜机氮化钛涂层柱状弧源 Multi arc ion plating columner arc source TiN films

分类号 TG155.5 [金属学及工艺—热处理] TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]

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