摘要
由中电总公司国际合作局许社全局长带队,华晶公司、华越公司、机电部一所、55所和48所等8人组成的CHINATRON代表团于1992年6月13日至28日参观了在旧金山MOSCONE展览中心的国际半导体设备、材料展览会。会后参观了HP、Applied Materials、Lam Research、Ultratech、VLSI、GCA、Eaton、AT&T、SVG、Drytek、Pioneer、Techlink、HT等14家公司。通过上述活动,了解到半导体设备、技术和集成电路的主要情况、前沿和发展趋势,以及寻求中电总公司与国际合作的意向。现将主要情况介绍如下:
出处
《微细加工技术》
1992年第3期81-83,74,共4页
Microfabrication Technology
