高束流密度金属注入离子源

本文对直接从高温石墨室的稳定金属等离子体放电中,引出高束流密度的宽束离子源的设计特点和初步试验进行了介绍。金属蒸气是通过将电子流引入到具有阳极电势的坩埚内,使其中的纯金属蒸发而得到的。当金属蒸气的数量达到能自己维持的程度时,就停止送入用于起动放电的氩气。引出的钛或铜离子束在距离子源50cm处的靶上,束斑直径可达几厘米,束流密度可达几百μA/cm^2。该系统简单、安全、易于保养。