新的配置方式与曲面光栅——莫尔轮廓法灵敏度的再探讨

提出了二种新的配置方式。它可以成倍地增加测量深度,在要求的检测深度一定时,可由此提高测量灵敏度。应用曲面光栅可更多地增加测量深度,文中以柱面光栅为例,推出了计算公式,并用实验加以证实。所有上述方法都有实验照片,并与同样条件下的莫尔等高法作出比较。