计算机辅助相位测量及其计算方法

一、概述干涉计量中的整数干涉级是显而易见的,测量其小数部分往往不是轻而易举的。根据干涉图上的密度分布可以确定两点之间的位相差,但不知道哪一点是高点,哪一点是低点。在扫描过程中测量两点的相位差可以完全确定干涉场上两点的几何性质。用A/D转换接口采集若干次扫描过程中的光强,在微机辅助之下不但可以测出相位差,而且能立即转换成有关几何性质的数据。这种方法便于大量测量数据的分析、处理和保存,也可用于控制。在扫描过程中干涉场上的两点的光强变化,经检测器转化为电压的变化。