用“零位补偿法”提高光电圆刻机的刻划精度

一、光电圆刻机结构简介及刻划原理QGG405光电圆刻机由以下几部分组成:1.机械部分。它由主轴;传动系统(蜗轮、蜗杆、传动齿轮等);粗分度系统(棘轮、棘爪等);刻划系统(刀桥、刀架、光刻头等)构成。2.光学部分。它包括:动、静光栅副;光学照明器;光电信号转换部分等。3.电器部分。由莫尔条纹光电信号加法器;差分运算放大器;间隙刻划用的交流伺服电机控制电路;连续刻划用的始、终位置控制电路;刻划圈数的控制电路和电源等组成。