光束扫描法测量微位移和微负荷装置

采用光束扫描法可灵敏地测量间隙大小和试件尺寸。本文介绍实施中的一些问题,以及配上单板机制成灵敏度高、稳定性好的微位移和微负荷测量装置。该方法对发光元件和光敏元件的性能要求不高,具有广泛的应用前景。