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气体脉冲放电中电子能量分布(EED)的测定方法

A Method for Measuring Electron Enerey Distribution (EED) in Gas Pulse Discharge
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摘要 本文在作者提出的电探针测定稳态等离子体电子能量分布方法(二阶微分网络法)基础上,结合连续脉冲扫描,实现了对脉冲等离子体探针电流对电压二阶导数曲线的连续测量。每条曲线测定时间20~30μs,测量间隔211μs。此方法可用来测定脉冲放电过程中的电子能量分布及其随时间的变化。本文还提出可用惰性气体亚稳态的Penning 电离来标定EED 曲线的能量关系。 Based on auther's “Second-order differential network method”for measuring EED in stable discharged,a new method was introduced bymeans of fast sweeping of pulse train,which can be used to measure secondderivative of probe current versus voltage.Each curve can be determinedin 20-30 μs with an intermittent interval of 211 μs.This method can beused to measure the electron energy distribution in gas pulse discharge,andto determine its variation with time.This paper demanstrates that Penningionization of metastable atoms of rare gases could be taken as a calibration ofthe energy scale of EED.
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS 1988年第3期247-256,共10页 Chinese Journal of Scientific Instrument
基金 国家自然科学基金
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