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激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素 被引量:6

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摘要 类金刚石膜是一种碳膜,主要由sp2和sp3键构成,在空间结构上是长程无序的.由于含有一定数量的sp3键,类金刚石膜具有一系列接近于金刚石的优异性能,如很高的硬度和很小的摩擦系数、良好的化学稳定性、抗腐蚀能力、较高的电阻率、电绝缘强度、红外和微波频段的透过性、高的光学折射率.
出处 《牡丹江师范学院学报(自然科学版)》 2003年第4期17-19,共3页 Journal of Mudanjiang Normal University:Natural Sciences Edition
  • 相关文献

参考文献7

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共引文献2

同被引文献52

引证文献6

二级引证文献13

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