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有机介质等离子体增强CVD复合表面改性研究

MODIFICATION OF ORGANIC MEDIUM PLASMA STRENGTHEND CVD COMPOSITE COATING
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摘要 作者用有机介质代替 TiCl_4进行 PCVD 工艺条件的试验,并以高速钢和工业纯铁为基体材料,研究了经 PCVD 改性后的表层化学成分及相结构。最后提出了涂渗层厚度与时间的关系。 Organic media are used instead of TiCl_4 to study the technologic control of PCVD prac- tice.High speed steel and commercial pure iron are used as matrices for PCVD modification and the study of the chemical composition and the phase structure in the coating.The relation be- tween thickness of penetration and time is proposed.
出处 《武汉钢铁学院学报》 1992年第4期380-386,共7页
关键词 有机介质 等离子体 表面改性 CVD organic media plasma chemical vapor deposition
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