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氧化工艺在真空电弧沉积TiN薄膜中的应用——专业课程与课题相结合的实践

Application of Oxidation Processing in TiN films Deposited by Vacuum Arc——A Practice of Combining Professional Courses with Science Program
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摘要 文章通过氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响这一课题研究 ,指出在毕业论文的工作中 ,将专业知识运用到实际课题的研究中 。 This paper indicates that applying the professional knowledge to real research programs is propitious to improve students' comprehensive qualities during undergraduate thesis working through studying the influence of oxidation processing on microstructure and properties of TiN films deposited by vacuum.
作者 梁仕昌 曾鹏
出处 《广东工业大学学报(社会科学版)》 2003年第B06期188-189,224,共3页 Journal of Guangdong University of Technology(Social Sciences Edition)
关键词 专业课程 研究课题 真空电弧沉积 TIN薄膜 氧化工艺 professional courses research programs vacuum arc deposition TiN film oxidation processing
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