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微机械桥型压控振荡器 被引量：1

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摘要 设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器.通过调节压敏电桥的桥压,改变桥的平均温升和轴向应变,可调节压控振荡器的中心频率.理论计算和实验结果表明,输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系.对所测试的器件,其线性度为0.16％,振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15％.
作者 韩建强 朱长纯 赵红坡 刘君华 邵军
机构地区 西安交通大学电信学院
出处 《中国科学（E辑）》 CSCD 北大核心 2004年第1期14-19,共6页 Science in China(Series E)
基金 国家自然科学基金(批准号:60036016 50077016) 教育部博士点基金(批准号:98069828)资助项目
关键词 微机械 桥型压控振荡器 微机电系统 谐振器 振荡频率
分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献7

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共引文献5

同被引文献6

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  • 5Aleksander Dec, Ken Suyama, 1.9GHz Mieromaehined-Based Low-Phase-Noise CMOS VCO[J]. IEEE ISSCC Dig. Tech.Papers, Feb. 1999,80-81.
  • 6Aleksander Dec,Ken Suyama, A 2.4 GHz CMOS LC VCO Using Mieromaehined Variable Capacitors for Frequency Tuning[C]//IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, Vol. 1, June 1999,79 - 82.

引证文献1

二级引证文献3

中国科学（E辑）
2004年 第1期

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