微型离子泵抽速测量方法的探讨被引量：2

A Research for mearement of pumping speed of mini-ionpump

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摘要探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序。并给出了抽速测量不确定度的简化评估。 A mearement methoud at constant volume of pumping speed of mini-ionpump is researched and a simplified uncertainty of mearement of pumping speed is given.

作者冯葵

机构地区华越微电子有限公司

出处《真空》 CAS 北大核心 2004年第1期39-40,共2页 Vacuum

关键词离子泵抽速测量定容法不确定度定压法真空泵 mearement of pumping speed ionpump mearement at constant volume

分类号 TB752 [一般工业技术—真空技术] TB937 [机械工程—测试计量技术及仪器]

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真空

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