真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术
被引量：1
出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第1期62-64,共3页
Vacuum
同被引文献3
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二级引证文献4
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3周梁,韩大伟,孙泉钦,王丹名,李华,陈垚.一种实用的PECVD腔体检漏工具设计方法[J].液晶与显示,2015,30(5):813-818. 被引量：1
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