摘要
AFM针尖诱导氧化加工的金属 (Ti、Al、Nb等 )纳米氧化线是实现金属 半导体纳米器件的基础 ,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度 ,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响 ,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好的湿度范围为 30 %～ 5 0 %。
Metal nano oxidation wires (such as Ti, Al, Nb) obtained by AFM tip induced anodic oxidation are the basic structures in metal semiconductor nano devices. The amount of adsorbed water on the metal film surface determined by ambient humidity plays a key role in controlling the oxidation results. Humidity effects on the heights, widths and ratios of Ti oxidized wires are researched extensively by many experiments. The proper humidity range of about 30%～50% for oxidizing Ti film is achieved to get better results.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期142-144,共3页
Micronanoelectronic Technology
基金
教育部天津大学南开大学科技合作项目
天津市自然科学基金项目 (0 13 60 2 111)
