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大流量压阻式流量传感器的研制

Research on a piezoresistive mass flow sensor
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摘要 根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1~ Micromachined piezoresistive flow sensors that operated in differential pressure modes have been designed, fabricated and tested. The testing result shows that the measuring flow rates range from 0.1 to 10L/min for gas.
出处 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期449-451,共3页 Micronanoelectronic Technology
基金 国家重点基础研究发展规划项目 (TG19990 3 3 10 8)
关键词 压阻式流量传感器 硅微机械加工 微挡板结构 流体力学 压敏电阻 差压 differential pressure flow sensor micromachining piezoresistivity
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参考文献4

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