摘要
根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～
Micromachined piezoresistive flow sensors that operated in differential pressure modes have been designed, fabricated and tested. The testing result shows that the measuring flow rates range from 0.1 to 10L/min for gas.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期449-451,共3页
Micronanoelectronic Technology
基金
国家重点基础研究发展规划项目 (TG19990 3 3 10 8)
