金属颗粒调制的复合碳纳米管电子器件的构建和特性测量
摘要
利用传统微电子加工与纳米组装技术构建出了金属颗粒调制的复合碳纳米管场效应及单电子器件。电子输运性能测量结果表明这类复合碳纳米管电子器件具有一些不同于一般碳纳米管电子器件的独特性能。
参考文献10
-
1Dekker C.Physics Today.1999,52:22
-
2Martel R,et al.Appl Phys Lett,1998,73:2447
-
3Tans S,et al.Nature,1998,393:49
-
4Bockrath M,et al.Science,1997,275:1922
-
5Tans S,et al.Nature,1998,394:761
-
6Postma H W,Teepen T,Yao Z,et al.Nature,2001,293:76
-
7Derycke V,et al.Nano Lett,2001,1:453
-
8Bachtold A,et al.Science,2001,294:1317
-
9Likharev K.Proc IEEE,1999,80:606
-
10Bezryadin A,Verschueren A R M,Tans S J,et al.Phys Rev Lett,1998,80:4036
-
1彭练矛,陈清,梁学磊,车仁超,夏洋,薛增泉,吴全德.碳纳米管室温单电子器件的构建和特性测量[J].物理,2002,31(12):761-763.
-
2杨正名.气体放电电子束及其在微电子加工中的应用[J].电子器件,1989,12(1):1-5.
-
3楚山.微电子加工用大面积射频等离子体[J].等离子体应用技术快报,1996(4):11-12.
-
4刘峰名,任斌,汤儆,田中群.硅刻蚀的现场拉曼光谱研究[J].光散射学报,1997,9(2):231-233. 被引量:1
-
5特别推荐[J].印制电路资讯,2012(4):15-15.
-
6聂守平,陈伯荣.光阵列发生器微电子加工[J].激光与红外,2001,31(4):248-249. 被引量:1
-
7谢国章.微机械在微电子技术中的应用[J].半导体技术,1995,11(4):55-56.
-
8张清泉.纳米技术在电子产品中的应用[J].仪器仪表与分析监测,2005(2):1-2.
-
9技术[J].微纳电子技术,2008,45(9):557-557.
-
10李永祥,马爱芬,吴冲若.新型电子材料——沸石分子筛[J].传感技术学报,1996,9(3):39-44.